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GB/T15615-1995硅片抗彎強(qiáng)度測試方法

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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶切割片、研磨片和拋光片的抗彎強(qiáng)度測試方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于晶向?yàn)椤?11〉和〈100〉的直拉、懸浮區(qū)熔硅單晶片的常溫下抗彎強(qiáng)度的測量。硅片厚度為250~900μm。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 15615-1995

標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅片抗彎強(qiáng)度測試方法

英文名稱:Test method for measuring flexure strength of silicon slices

標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1995-07-12

實(shí)施日期:1996-02-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H23金屬工藝性能試驗(yàn)方法

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS):冶金>>金屬材料試驗(yàn)>>77.040.01金屬材料試驗(yàn)綜合

起草單位:中南工業(yè)大學(xué)

歸口單位:全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局

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