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GB/T1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

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標準簡介:本標準規(guī)定了硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法。

標準號:GB/T 1558-1997

標準名稱:硅中代位碳原子含量 紅外吸收測量方法

英文名稱:Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1997-01-02

實施日期:1998-08-01

中國標準分類號(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法

國際標準分類號(ICS):電氣工程>>29.045半導體材料

替代以下標準:替代GB 1558-1983;被GB/T 1558-2009代替

起草單位:峨嵋半導體材料研究所

歸口單位:全國半導體材料和設備標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局

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