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GB/T1557-2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用紅外光譜法測(cè)定硅單晶中的間隙氧含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于室外溫電阻率大于0.1Ω·cm的n型硅單晶和室溫電阻率大于0.5Ω·cm中間的p型硅單晶中間隙氧含量的測(cè)量。本標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量氧含量的有效范圍從1×1016at·cm-3到硅中間隙氧的較大固熔度。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 1557-2006

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng):硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法

英文名稱(chēng):The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:2006-07-18

實(shí)施日期:2006-11-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(ICS):冶金>>金屬材料試驗(yàn)>>77.040.30金屬材料化學(xué)分析

替代以下標(biāo)準(zhǔn):替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989;被GB/T 1557-2018代替

起草單位:峨眉半導(dǎo)體材料廠

歸口單位:全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位:質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局.

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