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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機(jī)。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15861-1995
標(biāo)準(zhǔn)名稱：離子束蝕刻機(jī)通用技術(shù)條件
英文名稱：Generic specification of ion beam etching system
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1995-01-02
實(shí)施日期：1996-08-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 15861-2012代替
起草單位：電子部長沙半導(dǎo)體工藝設(shè)備所
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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