標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 29732-2021

標(biāo)準(zhǔn)名稱：表面化學(xué)分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)

英文名稱：Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis

發(fā)布部門：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

發(fā)布日期：2021-12-31

實(shí)施日期：2022-07-01

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行/即將實(shí)施

替代標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 29732-2013

文件格式：PDF

文件頁(yè)數(shù)：15頁(yè)

起草單位：清華大學(xué)、中國(guó)石油大學(xué)(北京)

起草人員：姚文清、楊立平、徐同廣、王雅君、段建霞、李展平

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：

本文件規(guī)定了俄歇電子能譜儀動(dòng)能能量標(biāo)不確定度為3 eV時(shí)的校準(zhǔn)方法，用于識(shí)別表面常規(guī)元素。另外，本文件還規(guī)定了一種用于確定校準(zhǔn)周期的方法。

本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%，微分模式調(diào)制幅度的峰值為 2 eV，配有惰性氣體離子或其他樣品清潔方法，具有4 keV或更高束能電子的譜儀。