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GB/T20175-2006表面化學分析濺射深度剖析用層狀膜系為參考物質(zhì)的優(yōu)化方法

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標準簡介:本標準采用適當?shù)膯螌雍投鄬幽は祬⒖嘉镔|(zhì),提供優(yōu)化濺射深度剖析參數(shù)的指南。

標準號:GB/T 20175-2006

標準名稱:表面化學分析 濺射深度剖析 用層狀膜系為參考物質(zhì)的優(yōu)化方法

英文名稱:Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2006-03-27

實施日期:2006-11-01

中國標準分類號(CCS):儀器、儀表>>光學儀器>>N33電子光學與其他物理光學儀器

國際標準分類號(ICS):化工技術(shù)>>分析化學>>71.040.40化學分析

起草單位:清華大學電子工程系

歸口單位:全國微束分析標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位:國家標準化管理委員.

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