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標準簡介：本標準規(guī)定了用掃描電鏡測量納米級長度的基本原則。適用于測量10nm-500nm的點或線的間距。
標準號：GB/T 20307-2006
標準名稱：納米級長度的掃描電鏡測量方法通則
英文名稱：General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現行
發(fā)布日期：2006-07-19
實施日期：2007-02-01
中國標準分類號（CCS）：儀器、儀表>>光學儀器>>N33電子光學與其他物理光學儀器
國際標準分類號（ICS）：計量學和測量、物理現象>>17.040 長度和角度測量?成像技術>>37.020光學設備
起草單位：中國科學院地質與地球物理研究所、同濟大學，中國科學院化學所，中國地質科學院礦產資源研究所，上海理工大學
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
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