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GB/T12964-1996硅單晶拋光片

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 12964-1996

標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅單晶拋光片

英文名稱:Monocrystalline silicon polished wafers

標(biāo)準(zhǔn)類型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1996-11-04

實(shí)施日期:1997-04-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS):冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS):電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

替代以下標(biāo)準(zhǔn):GB 12964-1991;被GB/T 12964-2003代替

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