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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶拋光片的必要的相關(guān)性術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢測(cè)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉硅單晶研磨片經(jīng)腐蝕減薄后進(jìn)行單面拋光制備的硅拋光片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路等半導(dǎo)體器件或做為硅外延沉積的襯底。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 12964-2003
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅單晶拋光片
英文名稱：Monocrystalline silicon polished wafers
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2003-06-01
實(shí)施日期：2004-01-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 12964-1996;被GB/T 12964-2018代替
起草單位：洛陽單晶硅廠
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
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