標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅多晶的產(chǎn)品分類(lèi)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以三氯氫硅或四氯化硅用氫還原法制得的半導(dǎo)體級(jí)硅多晶。產(chǎn)品主要用于制備硅單晶。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 12963-1996

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：硅多晶

英文名稱(chēng)：Polycrystalline silicon

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1996-01-01

實(shí)施日期：1997-04-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：替代GB 12963-1991;被GB/T 12963-2009代替

起草單位：峨嵋半導(dǎo)體材料廠

歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局