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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用液態(tài)和氣態(tài)氮的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志等，適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮，在超大規(guī)模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護(hù)、加壓，也用于化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣等。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16944-1997
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 氮
英文名稱：Gases for electronic industry--Nitrogen
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1997-08-13
實(shí)施日期：1998-05-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 16944-2009代替
起草單位：化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
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