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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氦的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦,以及經(jīng)純化方法得到的氦。它們在半導(dǎo)體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護(hù)氣等。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 16943-2009
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 氦
英文名稱：Gas for electronic industry—Helium
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：替代GB/T 16943-1997
起草單位：西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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