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GB/T16943-2009電子工業(yè)用氣體氦

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標準簡介:本標準規(guī)定了氦的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦,以及經(jīng)純化方法得到的氦。它們在半導體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護氣等。

標準號:GB/T 16943-2009

標準名稱:電子工業(yè)用氣體 氦

英文名稱:Gas for electronic industry—Helium

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2009-10-30

實施日期:2010-05-01

中國標準分類號(CCS):化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號(ICS):化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準:替代GB/T 16943-1997

起草單位:西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院

歸口單位:全國半導體材料和設備標準化技術(shù)委員會氣體分會

發(fā)布單位:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

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