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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氬的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護(hù)和增壓,它還可以用于化學(xué)汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 16945-2009
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 氬
英文名稱：Gas for electronic industry—Argon
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：替代GB/T 16945-1997
起草單位：北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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