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GB/T13843-1992藍寶石單晶拋光襯底片

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檢測執(zhí)行標準信息一覽:

標準簡介:本標準規(guī)定了生長硅的高純藍寶石單晶拋光襯底片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則。本標準適用于制備半導(dǎo)體器件的生長硅的高純藍寶石單晶拋光襯底片。

標準號:GB/T 13843-1992

標準名稱:藍寶石單晶拋光襯底片

英文名稱:Polished monocrystalline sapphire substrates

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:1992-01-02

實施日期:1993-08-01

中國標準分類號(CCS):電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料

國際標準分類號(ICS):29.040.30

替代以下標準:廢止公告:國家標準公告2017年第31號

起草單位:天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所

歸口單位:全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局

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