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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了生長硅的高純藍(lán)寶石單晶拋光襯底片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于制備半導(dǎo)體器件的生長硅的高純藍(lán)寶石單晶拋光襯底片。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 13843-1992
標(biāo)準(zhǔn)名稱：藍(lán)寶石單晶拋光襯底片
英文名稱：Polished monocrystalline sapphire substrates
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1992-01-02
實(shí)施日期：1993-08-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：29.040.30
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：廢止公告：國家標(biāo)準(zhǔn)公告2017年第31號
起草單位：天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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