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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石襯底上生長的單晶硅外延片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗(yàn)規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用藍(lán)寶石襯底上生長的單晶硅外延片。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14015-1992
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅--藍(lán)寶石外延片
英文名稱：Silicon on sapphire epitaxial wafers
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1992-01-02
實(shí)施日期：1993-08-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：29.040.30
起草單位：天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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