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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、儲存和安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學(xué)氣相沉積的清洗劑。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 21287-2007
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體三氟化氮
英文名稱：Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2007-12-14
實(shí)施日期：2008-07-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 21287-2021代替
起草單位：湖北沙隆達(dá)天門農(nóng)化有限責(zé)任公司、中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所、核工業(yè)理化工程研究院特氣中心、中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院等
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會(SAC/TC 20
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
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