標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、儲(chǔ)存和安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學(xué)氣相沉積的清洗劑。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 21287-2007

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：電子工業(yè)用氣體三氟化氮

英文名稱(chēng)：Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：2007-12-14

實(shí)施日期：2008-07-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 21287-2021代替

起草單位：湖北沙隆達(dá)天門(mén)農(nóng)化有限責(zé)任公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所、核工業(yè)理化工程研究院特氣中心、中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院等

歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)(SAC/TC 20

發(fā)布單位：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.