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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氯產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)液氯為原料，采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、高溫超導(dǎo)、鋁加工等高新技術(shù)領(lǐng)域。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 18994-2003
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 高純氯
英文名稱：Gases for electronic industry—High purity chlorine
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2003-03-05
實(shí)施日期：2003-08-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 18994-2014代替
起草單位：光明化工研究設(shè)計(jì)院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
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