標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磷化氫產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、安全要求以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸與貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14851-1993

標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 磷化氫

英文名稱：Gas for electronic industry－Phosphine

標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1993-01-02

實(shí)施日期：1994-10-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：>>>>G87

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 14851-2009代替

起草單位：化工部光明化工研究所

歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局