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標準簡介：本標準規(guī)定了磷化氫產(chǎn)品的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、安全要求以及包裝、標志、運輸與貯存。本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質磷與水或堿反應等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。
標準號：GB/T 14851-1993
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 磷化氫
英文名稱：Gas for electronic industry－Phosphine
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1993-01-02
實施日期：1994-10-01
中國標準分類號（CCS）：>>>>G87
國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：被GB/T 14851-2009代替
起草單位：化工部光明化工研究所
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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