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GB/T1552-1995硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)?/h1>

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針測(cè)量硅、鍺單晶電阻率的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量試樣厚度和從試樣邊緣與任一探針端點(diǎn)的較近距離二者均大于探針間距的4倍的硅、鍺單晶的體電阻率以及測(cè)量直徑大于探針間距的10倍、厚度小于探針間距4倍的硅、鍺單晶圓片(簡(jiǎn)稱圓片)的電阻率。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 1552-1995

標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)?/p>

英文名稱:Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon and germanium with a collinear four-probe array

標(biāo)準(zhǔn)類型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1995-04-18

實(shí)施日期:1995-01-02

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS):冶金>>金屬材料試驗(yàn)>>77.040.30金屬材料化學(xué)分析

替代以下標(biāo)準(zhǔn):替代GB 1552-1979;GB 5251-1985;GB 6615-1986;被GB/T 1551-2009代替

起草單位:上海有色金屬研究所

歸口單位:全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位:國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局

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