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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅和外延片表面Na、Al、K 和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于用二次離子質(zhì)譜法(SIMS)檢測(cè)鏡面拋光單晶硅片和外延片表面的Na、Al、K 和Fe每種金屬總量。本標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試的是每種金屬的總量,因此該方法與各金屬的化學(xué)和電學(xué)特性無關(guān)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于所有摻雜種類和摻雜濃度的硅片。本標(biāo)準(zhǔn)特別適用于位于晶片表面約5nm 深度內(nèi)的表面金屬沾污的測(cè)試。本標(biāo)準(zhǔn)適用于面密度范圍在(109~1014)atoms/cm2 的Na、Al、K 和Fe的測(cè)試。本方法的檢測(cè)限取決于空白值或計(jì)數(shù)率極限,因儀器的不同而不同。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 24575-2009
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法
英文名稱：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-06-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
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