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標準簡介:本標準規(guī)定了 X射線光電子能譜(XPS)的荷電控制和荷電基準技術(shù)。本標準適用于 XPS荷電控制和荷電定位技術(shù),不適用于其他電子激發(fā)系統(tǒng)。
標準號:GB/T 31472-2015
標準名稱:X光電子能譜中荷電控制和荷電基準技術(shù)標準指南
英文名稱:Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
標準類型:國家標準
標準性質(zhì):推薦性
標準狀態(tài):現(xiàn)行
發(fā)布日期:2015-05-15
實施日期:2016-01-01
中國標準分類號(CCS):儀器、儀表>>電工儀器儀表>>N26綜合測試系統(tǒng)
國際標準分類號(ICS):計量學和測量、物理現(xiàn)象>>電學、磁學、電和磁的測量>>17.220.20電和磁量值的測量
起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、中國電子技術(shù)標準化研究院、蘇州晶瑞化學有限公司、天津中環(huán)材料技術(shù)有限公司
歸口單位:全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
發(fā)布單位:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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