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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定位與掃描平臺（以下簡稱為平臺）的測量條件、測量系統(tǒng)和測量方法。本標準適用于平臺的研究、設計、生產(chǎn)、檢測及使用。
標準號：GB/T 38614-2020
標準名稱：基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定位與掃描平臺測量方法
英文名稱：Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2020-04-28
實施日期：2020-11-01
中國標準分類號（CCS）：儀器、儀表>>工業(yè)自動化儀表與控制裝置>>N10工業(yè)自動化與控制裝置綜合
國際標準分類號（ICS）：綜合、術語學、標準化、文獻>>詞匯>>01.040.39精密機械、珠寶 (詞匯)
起草單位：沈陽建筑大學、三英精控(天津)儀器設備有限公司、廣東工業(yè)大學、中國計量科學研究院、蘇州昊通儀器科技有限公司、沈陽理工大學
歸口單位：全國電子測量儀器標準化技術委員會(SAC/TC 153)
發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.
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