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GB/T38614-2020基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為平臺(tái))的測(cè)量條件、測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于平臺(tái)的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測(cè)及使用。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 38614-2020

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng):基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

英文名稱(chēng):Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2020-04-28

實(shí)施日期:2020-11-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(CCS):儀器、儀表>>工業(yè)自動(dòng)化儀表與控制裝置>>N10工業(yè)自動(dòng)化與控制裝置綜合

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(ICS):綜合、術(shù)語(yǔ)學(xué)、標(biāo)準(zhǔn)化、文獻(xiàn)>>詞匯>>01.040.39精密機(jī)械、珠寶 (詞匯)

起草單位:沈陽(yáng)建筑大學(xué)、三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司、廣東工業(yè)大學(xué)、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、蘇州昊通儀器科技有限公司、沈陽(yáng)理工大學(xué)

歸口單位:全國(guó)電子測(cè)量?jī)x器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 153)

發(fā)布單位:國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.

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