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標準簡介：本標準規(guī)定了濺射離子泵(以下簡稱離子泵)性能參數(shù)的測量方法。本標準適用于名義體積流率大于10L/s的離子泵。本標準測量體積流率的壓力范圍從1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
標準號：GB/T 25755-2010
標準名稱：真空技術 濺射離子泵 性能參數(shù)的測量
英文名稱：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2010-12-23
實施日期：2011-10-01
中國標準分類號（CCS）：機械>>通用機械與設備>>J78真空技術與設備
國際標準分類號（ICS）：流體系統(tǒng)和通用件>>23.160真空技術
起草單位：北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司、沈陽真空技術研究所
歸口單位：全國真空技術標準化技術委員會(SAC/TC 18)
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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