標準簡介：本標準規(guī)定了采用惰性氣體熔融及紅外技術(shù)測試硅材料中氧含量的方法。 本標準適用于不同導(dǎo)電類型、不同電阻率范圍的硅單晶、多晶硅中氧含量的測試，測試范圍為2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。 注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子數(shù)計。

標準號：GB/T 38976-2020

標準名稱：硅材料中氧含量的測試 惰性氣體熔融紅外法

英文名稱：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2020-07-21

實施日期：2021-06-01

中國標準分類號（CCS）：冶金>>金屬化學(xué)分析方法>>H17半金屬及半導(dǎo)體材料分析方法

國際標準分類號（ICS）：冶金>>77.040金屬材料試驗

起草單位：有研半導(dǎo)體材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院、北京聚睿眾邦科技有限公司、廈門銀固美能源科技有限公司

歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全

發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.