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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用高純銅合金靶材（以下簡(jiǎn)稱靶材）的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單（或合同）內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路制造用的高純銅鋁（CuAl）合金靶材和高純銅錳（CuMn）合金靶材。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 39159-2020
標(biāo)準(zhǔn)名稱：集成電路用高純銅合金靶材
英文名稱：High purity copper alloy target for integrated circuit
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2020-11-19
實(shí)施日期：2021-10-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：冶金>>有色金屬及其合金產(chǎn)品>>H62重金屬及其合金
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：冶金>>有色金屬產(chǎn)品>>77.150.30銅產(chǎn)品
起草單位：寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司、寧波微泰真空技術(shù)有限公司
歸口單位：全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 243)
發(fā)布單位：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.
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