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GB/T32188-2015氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測(cè)試方法

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用雙晶 X射線衍射儀測(cè)試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)氣相沉積及其他方法生長(zhǎng)制備的氮化鎵單晶襯底片。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 32188-2015

標(biāo)準(zhǔn)名稱:氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測(cè)試方法

英文名稱:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

標(biāo)準(zhǔn)類型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2015-12-10

實(shí)施日期:2016-11-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS):冶金>>77.040金屬材料試驗(yàn)

起草單位:中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國(guó)科學(xué)院物理研究所、北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司、丹東新東方晶體儀器有限公司

歸口單位:全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)與全國(guó)

發(fā)布單位:國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

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