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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了靶材與背板結(jié)合強(qiáng)度測(cè)試方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于微電子領(lǐng)域鍍膜用靶材與背板結(jié)合強(qiáng)度測(cè)試方法。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 39163-2020
標(biāo)準(zhǔn)名稱：靶材與背板結(jié)合強(qiáng)度測(cè)試方法
英文名稱：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2020-11-19
實(shí)施日期：2021-10-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H22金屬力學(xué)性能試驗(yàn)方法
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：試驗(yàn)>>19.060機(jī)械試驗(yàn)
起草單位：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院、寧波江豐電子材料股份有限公司、山東淄博漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司、貴研鉑業(yè)股份有限公司
歸口單位：全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 243)
發(fā)布單位：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.
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