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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)、檢測機(jī)構(gòu)等從事微機(jī)電技術(shù)及產(chǎn)品的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 26113-2010
標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微幾何量評定總則
英文名稱：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2011-01-10
實(shí)施日期：2011-10-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L55微電路綜合
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)
起草單位：中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、西安交通大學(xué)、天津大學(xué)、中原工學(xué)院
歸口單位：全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 336)
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
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