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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了離子注入機的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。
標準號：GB/T 15862-2012
標準名稱：離子注入機通用規(guī)范
英文名稱：General specification of ion implantation equipment
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2012-11-05
實施日期：2013-02-15
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
國際標準分類號（ICS）：31-550
替代以下標準：替代GB/T 15862-1995
起草單位：中國電子科技集團公司第四十八研究所
歸口單位：中國電子技術(shù)標準化研究所
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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