檢測報告圖片模板：
檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了離子束蝕刻機的術語、產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、運輸、貯存等。本標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機。
標準號：GB/T 15861-1995
標準名稱：離子束蝕刻機通用技術條件
英文名稱：Generic specification of ion beam etching system
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1995-01-02
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產設備>>L97加工專用設備
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
替代以下標準：被GB/T 15861-2012代替
起草單位：電子部長沙半導體工藝設備所
歸口單位：信息產業(yè)部（電子）
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
標準文檔查詢及下載
免責聲明：(更多標準請先聯系客服查詢！)
1.本站標準庫為非營利性質，僅供各行人士相互交流、學習使用，使用標準請以正式出版的版本為準。
2.全部標準資料均來源于網絡，不保證文件的準確性和完整性，如因使用文件造成損失，本站不承擔任何責任。
3.全部標準資料均來源于網絡，本站不承擔任何技術及版權問題，如有相關內容侵權，請聯系我們刪除。
