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標準簡介：本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。
標準號：GB/T 15909-2009
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)
英文名稱：Gas for electronic industry—Silane
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：替代GB/T 15909-1995;被GB/T 15909-2017代替
起草單位：浙江大學材化學院半導體材料研究所、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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