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標準號：GB/T 40566-2021
標準名稱：流化床法顆粒硅 氫含量的測定 脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法
適用范圍：本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測定顆粒硅中氫含量的方法。本文件適用于流化床法顆粒硅中氫含量的測定，其他硅材料參照使用。注： 本文件測定氫含量的范圍取決于所用氫分析儀的量程，大測定范圍為氫量0.000 08 mg～2.5 mg。以質量分數(%)表示的氫分析儀的測定范圍因稱取樣品量的不同而不同。例如，1 g樣品大測定范圍的質量分數為0.000 008%～0.25%;0.15 g樣品大測定范圍的質量分數為0.000 06%～1.66%。
英文名稱：Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
標準狀態(tài)：現行
發(fā)布日期：2021-10-11
實施日期：2022-05-01
出版語種：中文簡體
標準ICS號：29.045
中標分類號：H82
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
提出部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發(fā)布部門：國家市場監(jiān)督管理總局、國家標準化管理委員會
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