標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 24575-2009硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅和外延片表面Na、Al、K 和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于用二次離子質(zhì)譜法(SIMS)檢測(cè)鏡面拋光單晶硅片和外延片表面的Na、Al、K 和Fe每種金屬總量。本標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)的是每種金屬的總量,因此該方法與各金屬的化學(xué)和電學(xué)特性無(wú)關(guān)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于所有摻雜種類(lèi)和摻雜濃度的硅片。本標(biāo)準(zhǔn)特別適用于位于晶片表面約5nm 深度內(nèi)的表面金屬沾污的檢測(cè)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于面密度范圍在(109~1014)atoms/cm2 的Na、Al、K 和Fe的檢測(cè)。本方法的檢測(cè)限取決于空白值或計(jì)數(shù)率*限,因儀器的不同而不同。

英文名稱(chēng)： Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

中標(biāo)分類(lèi)： 冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合

ICS分類(lèi)： 電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

采標(biāo)情況： MOD SEMI MF 1617-0304

發(fā)布部門(mén)： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

發(fā)布日期： 2009-10-30

實(shí)施日期： 2010-06-01

*發(fā)日期： 2009-10-30

提出單位： 全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)