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標準編號：GB/T 4061-2009硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
標準簡介：本標準規(guī)定了以三氯氫硅和四氯化硅為原料在還原爐內(nèi)用氫氣還原出的硅多晶棒的斷面夾層化學腐蝕檢驗方法。本標準關于斷面夾層的檢驗適用于以三氯氫硅和四氯化硅為原料,以細硅芯為發(fā)熱體,在還原爐內(nèi)用氫氣還原沉積生長出來的硅多晶棒。
英文名稱： Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
替代情況： 替代GB/T 4061-1983
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發(fā)布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
*發(fā)日期： 1983-12-20
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會
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