YS/T 935-2013《電子薄膜用高純金屬濺射靶材純度等級(jí)及雜質(zhì)含量分析和報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)指南》基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：
YS/T 935-2013中文名稱(chēng)：
《電子薄膜用高純金屬濺射靶材純度等級(jí)及雜質(zhì)含量分析和報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)指南》發(fā)布日期：
2013-10-17實(shí)施日期：
2014-03-01發(fā)布部門(mén)：
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部歸口單位：
全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 243)起草單位：
有研億金新材料股份有限公司起草人：
張濤、何金江、丁照崇、萬(wàn)小勇、徐建衛(wèi)、廖贊、尚再艷、王欣平、熊曉東、呂保國(guó)中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：
H68貴金屬及其合金國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：
77.150.99其他有色金屬產(chǎn)品YS/T 935-2013《電子薄膜用高純金屬濺射靶材純度等級(jí)及雜質(zhì)含量分析和報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)指南》介紹
YS/T 935-2013《電子薄膜用高純金屬濺射靶材純度等級(jí)及雜質(zhì)含量分析和報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)指南》是中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布的一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)自2013年10月17日發(fā)布，并于2014年3月1日起正式實(shí)施。
一、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定內(nèi)容
1、目的與適用范圍
YS/T 935-2013標(biāo)準(zhǔn)的主要目的是為了確保電子薄膜用高純金屬濺射靶材的質(zhì)量，提高其在電子工業(yè)中的應(yīng)用性能。該標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用高純金屬濺射靶材的純度等級(jí)及雜質(zhì)含量的分析和報(bào)告。
2、術(shù)語(yǔ)與定義
標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)“高純金屬”、“濺射靶材”、“純度等級(jí)”和“雜質(zhì)含量”等術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了明確的定義和解釋?zhuān)瑸闃?biāo)準(zhǔn)的理解和執(zhí)行提供了基礎(chǔ)。
3、純度等級(jí)
YS/T 935-2013標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純金屬濺射靶材的純度等級(jí)，包括99.9%、99.99%、99.999%和99.9999%四個(gè)等級(jí)。不同等級(jí)的靶材適用于不同的電子薄膜制備工藝和應(yīng)用領(lǐng)域。
4、雜質(zhì)含量
標(biāo)準(zhǔn)對(duì)高純金屬濺射靶材中的雜質(zhì)含量進(jìn)行了詳細(xì)的規(guī)定，包括主要雜質(zhì)元素和非主要雜質(zhì)元素的含量要求。雜質(zhì)含量的控制對(duì)于保證電子薄膜的性能至關(guān)重要。
5、分析方法
YS/T 935-2013標(biāo)準(zhǔn)推薦了多種分析方法，包括原子吸收光譜法、感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜法和X射線(xiàn)熒光光譜法等，用于測(cè)定高純金屬濺射靶材中的雜質(zhì)含量。
6、報(bào)告格式
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純金屬濺射靶材純度等級(jí)及雜質(zhì)含量分析報(bào)告的格式，包括報(bào)告的標(biāo)題、樣品信息、分析結(jié)果、分析方法和報(bào)告日期等內(nèi)容。
二、標(biāo)準(zhǔn)的意義
1、提高產(chǎn)品質(zhì)量
YS/T 935-2013標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子薄膜用高純金屬濺射靶材的純度和雜質(zhì)含量進(jìn)行了嚴(yán)格的規(guī)定，有助于提高靶材的質(zhì)量，從而提高電子薄膜的性能。
2、規(guī)范市場(chǎng)行為
該標(biāo)準(zhǔn)為電子薄膜用高純金屬濺射靶材的生產(chǎn)和銷(xiāo)售提供了統(tǒng)一的技術(shù)要求，有助于規(guī)范市場(chǎng)行為，保護(hù)消費(fèi)者權(quán)益。
3、促進(jìn)行業(yè)發(fā)展
通過(guò)制定和實(shí)施這一標(biāo)準(zhǔn)，可以推動(dòng)電子薄膜用高純金屬濺射靶材行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，促進(jìn)整個(gè)電子工業(yè)的發(fā)展。
檢測(cè)流程步驟
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