YS/T 936-2013《集成電路器件用鎳釩合金靶材》基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號：
YS/T 936-2013中文名稱：
《集成電路器件用鎳釩合金靶材》發(fā)布日期：
2013-10-17實(shí)施日期：
2014-03-01發(fā)布部門：
工業(yè)和信息化部歸口單位：
全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員(SAC/TC 243)起草單位：
有研億金新材料股份有限公司等起草人：
董亭義、何金江、劉紅賓、張濤、姚力*、王學(xué)澤、向磊、徐學(xué)禮、朱曉光、丁照崇、呂超、雷繼峰、熊曉東、張殿凱、李娜中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：
H62重金屬及其合金國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：
77.150.40鎳和鉻產(chǎn)品YS/T 936-2013《集成電路器件用鎳釩合金靶材》介紹
工業(yè)和信息化部于2013年10月17日發(fā)布了YS/T 936-2013《集成電路器件用鎳釩合金靶材》標(biāo)準(zhǔn)，并于2014年3月1日起正式實(shí)施。
一、技術(shù)要求
1、化學(xué)成分
標(biāo)準(zhǔn)對鎳釩合金靶材的化學(xué)成分提出了明確要求，規(guī)定了鎳、釩、鐵、硅、磷、硫、碳等元素的含量范圍。其中，鎳含量應(yīng)在65%~75%之間，釩含量應(yīng)在5%~15%之間，鐵含量不大于0.5%，硅含量不大于0.5%，磷含量不大于0.03%，硫含量不大于0.03%，碳含量不大于0.1%。
2、物理性能
標(biāo)準(zhǔn)對鎳釩合金靶材的物理性能也進(jìn)行了規(guī)定，包括密度、熔點(diǎn)、熱膨脹系數(shù)等。其中，密度應(yīng)在8.5g/cm3~8.8g/cm3之間，熔點(diǎn)應(yīng)在1400℃~1450℃之間，熱膨脹系數(shù)應(yīng)在12.0×10??/℃~14.0×10??/℃之間。
3、組織結(jié)構(gòu)
標(biāo)準(zhǔn)要求鎳釩合金靶材的組織結(jié)構(gòu)應(yīng)均勻，無明顯偏析、夾雜等缺陷。
4、表面質(zhì)量
標(biāo)準(zhǔn)對鎳釩合金靶材的表面質(zhì)量提出了要求，規(guī)定靶材表面應(yīng)光潔、無裂紋、無氧化皮等缺陷。
二、試驗(yàn)方法
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳釩合金靶材的化學(xué)成分分析、物理性能測試、組織結(jié)構(gòu)檢查、表面質(zhì)量檢查等試驗(yàn)方法。其中，化學(xué)成分分析采用光譜分析法，物理性能測試包括密度測定、熔點(diǎn)測定、熱膨脹系數(shù)測定等，組織結(jié)構(gòu)檢查采用金相顯微鏡檢查，表面質(zhì)量檢查采用肉眼或放大鏡檢查。
三、檢驗(yàn)規(guī)則
1、出廠檢驗(yàn)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳釩合金靶材的出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目和要求，包括化學(xué)成分、物理性能、組織結(jié)構(gòu)和表面質(zhì)量等。
2、型式檢驗(yàn)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳釩合金靶材的型式檢驗(yàn)條件和項(xiàng)目，包括化學(xué)成分、物理性能、組織結(jié)構(gòu)和表面質(zhì)量等。
3、驗(yàn)收檢驗(yàn)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳釩合金靶材的驗(yàn)收檢驗(yàn)項(xiàng)目和要求，包括化學(xué)成分、物理性能、組織結(jié)構(gòu)和表面質(zhì)量等。
四、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存
標(biāo)準(zhǔn)對鎳釩合金靶材的標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存提出了要求。靶材應(yīng)有清晰的標(biāo)識，包括產(chǎn)品名稱、牌號、批號、生產(chǎn)日期等信息。包裝應(yīng)符合運(yùn)輸和貯存要求，防止靶材受損。運(yùn)輸過程中應(yīng)避免劇烈震動和碰撞，貯存時應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中。
五、質(zhì)量證明書
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳釩合金靶材的質(zhì)量證明書應(yīng)包含的內(nèi)容，包括產(chǎn)品名稱、牌號、批號、生產(chǎn)日期、化學(xué)成分、物理性能、組織結(jié)構(gòu)、表面質(zhì)量等信息，以便于用戶了解產(chǎn)品的質(zhì)量情況。
檢測流程步驟
溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。
