SJ 2805-1987《電子級氫中痕量氧＋氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》基本信息

標準號：

SJ 2805-1987

中文名稱：

《電子級氫中痕量氧＋氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》

發(fā)布日期：

1987-04-06

實施日期：

1988-01-01

發(fā)布部門：

電子工業(yè)部

提出單位：

中國電子學會潔凈技術學會

起草單位：

電子工業(yè)部標準化研究所

中國標準分類號：

A01技術管理

SJ 2805-1987《電子級氫中痕量氧＋氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》介紹

SJ 2805-1987《電子級氫中痕量氧＋氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》是由電子工業(yè)部于1987年4月6日發(fā)布的一項國家標準。該標準的實施日期為1988年1月1日。

一、標準適用范圍

SJ 2805-1987標準適用于電子級氫中痕量氧、氬、氮的測定。電子級氫是一種高純度的氫氣，廣泛應用于半導體制造、電子器件生產、太陽能電池制造等領域。在這些領域中，氫氣中的雜質含量對產品質量和性能具有重要影響。因此，準確測定電子級氫中痕量氧、氬、氮的含量對于提高產品質量具有重要意義。

二、標準主要技術內容

1、原理：SJ 2805-1987標準采用變溫濃縮色譜法，通過將電子級氫中的痕量氧、氬、氮與載氣分離，實現對這些雜質的定量分析。該方法具有高靈敏度、高分辨率、高穩(wěn)定性等優(yōu)點，適用于痕量雜質的檢測。

2、儀器設備：標準規(guī)定了用于變溫濃縮色譜法測定的儀器設備，包括色譜儀、氣相色譜柱、檢測器、恒溫箱等。同時，對儀器設備的使用、維護和校準提出了具體要求。

3、試劑和材料：標準對用于測定過程中的試劑和材料進行了規(guī)定，包括載氣、標準樣品、標定溶液等。對試劑的純度、穩(wěn)定性、儲存條件等提出了要求。

4、分析步驟：標準詳細描述了變溫濃縮色譜法測定電子級氫中痕量氧、氬、氮的分析步驟，包括樣品的采集與處理、儀器的調試、測定過程、數據處理等。對每個步驟的操作要點進行了詳細說明。

5、結果計算：標準規(guī)定了測定結果的計算方法，包括雜質含量的計算、相對標準偏差的計算等。同時，對結果的準確性、重復性和再現性提出了要求。

6、質量控制：標準對測定過程中的質量控制提出了要求，包括儀器設備的校準、標準樣品的使用、測定過程中的監(jiān)控等。通過質量控制措施，確保測定結果的準確性和可靠性。

三、標準實施與監(jiān)督

SJ 2805-1987標準作為一項國家標準，對電子級氫中痕量氧、氬、氮的測定具有法律效力。相關企業(yè)和檢測機構應嚴格按照標準要求進行操作，確保測定結果的準確性和可靠性。同時，有關部門應加強對標準實施情況的監(jiān)督檢查，對違反標準的行為進行查處。

四、標準修訂與更新

隨著科學技術的發(fā)展和電子工業(yè)對電子級氫純度要求的不斷提高，SJ 2805-1987標準也需要不斷完善和更新。有關部門應密切關注國內外相關技術的發(fā)展動態(tài)，及時組織專家對標準進行修訂和更新，以適應電子工業(yè)的發(fā)展需求。

檢測流程步驟

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