GB/T 15871-1995 是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中關(guān)于硬面光掩?;澹―irect Imaging -DI)的執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硬面光掩?;宓募夹g(shù)要求、檢測(cè)方法和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸?shù)确矫娴膬?nèi)容。本文將介紹GB/T 15871-1995標(biāo)準(zhǔn)中硬面光掩?;宓臋z測(cè)項(xiàng)目。
1. 外觀檢測(cè):對(duì)硬面光掩?;宓耐庥^進(jìn)行檢測(cè),檢查是否存在損壞、變形、劃痕、污染等缺陷。
2. 尺寸檢測(cè):測(cè)量硬面光掩?;宓某叽?,包括長(zhǎng)、寬、厚度等參數(shù),以確定是否符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的要求。
3. 表面平整度檢測(cè):通過(guò)測(cè)量硬面光掩?;灞砻娴钠秸?,以確定是否在規(guī)定范圍內(nèi)。
4. 邊緣平直度檢測(cè):檢測(cè)硬面光掩?;宓倪吘壥欠衿街?,包括邊緣的直線度和平行度等方面。
5. 表面電鍍層檢測(cè):檢查硬面光掩?;宓谋砻骐婂儗?,包括電鍍層的厚度、均勻性、附著力等方面。
6. 孔徑尺寸檢測(cè):測(cè)量硬面光掩?;迳系目椎闹睆健⑸疃鹊瘸叽鐓?shù),以確定是否滿足標(biāo)準(zhǔn)要求。
7. 起泡檢測(cè):檢測(cè)硬面光掩模基板表面是否有起泡的現(xiàn)象,起泡會(huì)影響光掩模的精度和質(zhì)量。
8. 導(dǎo)線圖案檢測(cè):檢查硬面光掩模基板上導(dǎo)線圖案的準(zhǔn)確度和一致性。
9. 色差檢測(cè):檢測(cè)硬面光掩?;迳系膱D案顏色是否一致,以及與標(biāo)準(zhǔn)色差值之間的偏差。
10. 焊盤(pán)質(zhì)量檢測(cè):對(duì)硬面光掩?;迳系暮副P(pán)進(jìn)行檢測(cè),包括焊盤(pán)的形狀、大小、平整度等方面。
11. 化學(xué)成分分析:對(duì)硬面光掩?;宓牟牧铣煞诌M(jìn)行化學(xué)分析,確保符合標(biāo)準(zhǔn)的要求。
12. 熱阻測(cè)試:檢測(cè)硬面光掩模基板的熱阻性能,以確定其散熱性能是否符合要求。
13. 熱膨脹系數(shù)測(cè)試:測(cè)量硬面光掩?;宓臒崤蛎浵禂?shù),以確定其在溫度變化時(shí)的穩(wěn)定性。
14. 電氣性能測(cè)試:對(duì)硬面光掩?;宓碾姎庑阅苓M(jìn)行測(cè)試,包括絕緣電阻、阻抗等參數(shù)。
15. 光學(xué)性能測(cè)試:檢測(cè)硬面光掩?;宓墓鈱W(xué)性能,包括透光性、反光性等參數(shù)。
以上是GB/T 15871-1995標(biāo)準(zhǔn)中硬面光掩?;宓闹饕獧z測(cè)項(xiàng)目。通過(guò)對(duì)這些項(xiàng)目的檢測(cè),可以確保硬面光掩模基板的質(zhì)量和性能符合標(biāo)準(zhǔn)的要求,提高其在電子制造領(lǐng)域的應(yīng)用價(jià)值。
檢測(cè)流程步驟
溫馨提示:以上內(nèi)容僅供參考使用,更多檢測(cè)需求請(qǐng)咨詢客服。