本文主要列舉了關(guān)于光阻的相關(guān)檢測方法，檢測方法僅供參考，如果您想針對自己的樣品定制試驗(yàn)方案，可以咨詢我們。
1. 光阻：光阻是一種常用于半導(dǎo)體制程中的材料，通過在特定波長的光照下，光敏物質(zhì)會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生不溶性或溶解性的改變。光阻主要用于光刻工藝，可以實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體器件表面進(jìn)行精確的圖案定義和微細(xì)結(jié)構(gòu)的制作。
檢測流程步驟
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