標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硬面光掩模用鉻薄膜的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硬面光掩模用鉻薄膜。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15870-1995

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：硬面光掩模用鉻薄膜

英文名稱(chēng)：Chrome thin films for hard surface photomasks

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：1995-01-02

實(shí)施日期：1996-08-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專(zhuān)用設(shè)備

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：31.030

起草單位：長(zhǎng)沙韶光微電子總公司

歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局

檢測(cè)流程步驟

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