標準簡介：本標準規(guī)定了離子注入機的術語、產(chǎn)品分類、技術要求、試驗、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。

標準號：GB/T 15862-2012

標準名稱：離子注入機通用規(guī)范

英文名稱：General specification of ion implantation equipment

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2012-11-05

實施日期：2013-02-15

中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產(chǎn)設備>>L97加工專用設備

國際標準分類號（ICS）：31-550

替代以下標準：替代GB/T 15862-1995

起草單位：中國電子科技集團公司第四十八研究所

歸口單位：中國電子技術標準化研究所

發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。