標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求等。本標準主要用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。

標準號：GB/T 15909-1995

標準名稱：電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)

英文名稱：Gas for electronic industry－Silane

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1995-01-02

實施日期：1996-08-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：被GB/T 15909-2009代替

起草單位：化工部西南化工研究院

歸口單位：全國半導體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。