GB/T 38447-2020.Micro-electromechanical system technology- Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration.
1范圍
GB/T 38447規(guī)定了MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)的試驗(yàn)方法,包括設(shè)備、試驗(yàn)環(huán)境、樣品要求、試驗(yàn)條件和試驗(yàn)步驟。
GB/T 38447適用于MEMS結(jié)構(gòu)的共振疲勞試驗(yàn)。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。.
GB/T 2298機(jī)械振動(dòng) 、沖擊與狀態(tài)監(jiān)測(cè)詞匯
GB/T 10623金屬材料力學(xué)性能試驗(yàn)術(shù)語(yǔ)
GB/T 26111微 機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)術(shù)語(yǔ)
3術(shù)語(yǔ)和定義
GB/T 2298、GB/T 10623、GB/T 26111界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1
載荷比 load ratio
周期加載中較大值和較小值的代數(shù)比。
3.2
瞬時(shí)破壞強(qiáng)度 instantaneous failure strength
靜態(tài)試驗(yàn)或共振振動(dòng)試驗(yàn)在快速幅值增長(zhǎng)過(guò)程中的破壞強(qiáng)度。
3.3
參考強(qiáng)度 reference strength
靜態(tài)強(qiáng)度或瞬時(shí)破壞強(qiáng)度。
4試驗(yàn)方法
4.1總則
通過(guò)對(duì)樣品施加預(yù)期振動(dòng)幅值的共振振動(dòng)進(jìn)行疲勞試驗(yàn)。當(dāng)樣品失效或達(dá)到預(yù)定的試驗(yàn)時(shí)間或次數(shù)時(shí),試驗(yàn)結(jié)束。
4.2試驗(yàn)設(shè)備
4.2.1概述
試驗(yàn)設(shè)備能夠?qū)υ囼?yàn)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生恒定振幅和穩(wěn)定頻率的振動(dòng)。試驗(yàn)系統(tǒng)由激振器、拾振傳感器(以下簡(jiǎn)稱(chēng)傳感器)、控制器和記錄儀器組成。試驗(yàn)系統(tǒng)框圖如圖1所示。
4.2.2 激振器
激振器能在所需方向上對(duì)樣品施加一定振幅和頻率的振蕩力?？墒褂貌煌N類(lèi)的激振器,例如,靜電、壓電、熱和電磁激振器等。激振器也可安裝在樣品中。
4.2.3拾振傳感器
拾振傳感器能夠測(cè)量樣品的運(yùn)動(dòng)以確定樣品試驗(yàn)部位的振幅。
4.2.4 控制器
控制器可控制激振器產(chǎn)生振蕩力,以保持恒定振幅共振振動(dòng)。根據(jù)樣品的振動(dòng)特性,采用下列方法:
a)閉合回路法一根據(jù)傳感器測(cè)量信號(hào)的變化確定試驗(yàn)部位的共振頻率,通過(guò)閉環(huán)電路維持共振頻率。
b)開(kāi)環(huán)控制法一通過(guò)激勵(lì)試驗(yàn)部位,在預(yù)定的共振頻率和振蕩信號(hào)幅度下試驗(yàn)。
在整個(gè)試驗(yàn)中,頻率和幅度的穩(wěn)定性應(yīng)保持在所需值的士3%內(nèi)。

檢測(cè)流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測(cè)需求請(qǐng)咨詢(xún)客服。