GB/T 31854-2015.Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry.
1范圍
GB/T 31854規(guī)定了利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)測定光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質(zhì)含量的方法。
GB/T 31854適用于光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質(zhì)鐵、鉻、鎳、銅、鋅含量的測定。各元素的測量范圍見表1。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 25915.1-2010潔凈室 及相關(guān)受控環(huán)境第 1部分:空氣潔凈度等級(jí)
3方法提要
將試樣用硝酸和氫氟酸的混合物溶解，加熱使溶液蒸干,溶液中的硅以SiF4的形式揮發(fā)。然后用硝酸溶液溶解殘?jiān)?用超純水定容后利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)測定溶液中待分析金屬元素的含量。
4干擾因素
4.1實(shí)驗(yàn)室的潔凈度、容器和儀器進(jìn)樣系統(tǒng)的潔凈度、試劑和水的純度以及操作過程等因素直接影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,應(yīng)嚴(yán)格控制。
4.2雙原子離子、多原子離子 、基體效應(yīng)、背景噪聲、元素間的干擾、交叉污染和儀器漂移等因素會(huì)影響測量結(jié)果。
4.3由于硅材料中金屬雜質(zhì)分布不均勻,樣品的選擇會(huì)影響產(chǎn)品中體金屬雜質(zhì)含量的評(píng)價(jià)結(jié)果,因此所取樣品應(yīng)具有代表性。
4.4如果 樣品中雜質(zhì)含量高,可采用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜等方法進(jìn)行測定,以儀器被污染，影響儀器的檢測限和精確度。

檢測流程步驟

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