GB/T 38616-2020.Terminology for nano positioning and scanning stage.
1范圍
GB/T 38616界定了納米定位與掃描平臺(tái)(以下簡(jiǎn)稱平臺(tái))的術(shù)語(yǔ)定義。
GB/T 38616適用于納米定位與掃描平臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)的定義。
2通用術(shù)語(yǔ)
2.1
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器 piezo actuator
利用縱向壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的陶瓷元件。
2.2
柔性鉸鏈機(jī)構(gòu) flexure hinge mechanism
利用材料彈性形變產(chǎn)生位移的一種特殊運(yùn)動(dòng)副,具有無(wú)機(jī)械摩擦、運(yùn)動(dòng)靈敏度高、位移分辨力高等特點(diǎn),常用于平臺(tái)傳動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。
注:根據(jù)橫截面切口形狀可以將柔性鉸鏈分為:直角型、橢圓形、過(guò)渡圓角型以及正圓形等,如圖1所示。
2.3
納米定位與掃描平臺(tái) nano positioning and scanning stage
基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的具有納米量級(jí)定位和掃描功能的平臺(tái)。
2.4
平臺(tái)材料 stage material
用于制造平臺(tái)主體機(jī)械結(jié)構(gòu)的物質(zhì)。
2.5
平臺(tái)尺寸 stage size
表征平臺(tái)外部輪廓的幾何量。
注:通常以毫米(mm)為單位。
2.6
平臺(tái)運(yùn)動(dòng)維度 stage degree of freedom
獨(dú)立的平臺(tái)運(yùn)動(dòng)空間坐標(biāo)方向的數(shù)目。
注:可分為一維、二維....六維平臺(tái)。
2.7
速度穩(wěn)定性 speed stability
掃描過(guò)程中平臺(tái)保持恒定速度的能力。
2.8
負(fù)載能力 allowable load
正常工作情況下,平臺(tái)載物面中心處允許負(fù)載的較大載荷。
注:通常以克(g)為單位。
2.9
平臺(tái)穩(wěn)定性 stage stability
平臺(tái)運(yùn)行中位置與位移精度的穩(wěn)定性。
2.10
有效帶寬 effective bandwidth
輸出信號(hào)幅值衰減到輸人信號(hào)幅值3 dB時(shí)對(duì)應(yīng)的頻率。
注:又稱一3dB帶寬。

檢測(cè)流程步驟

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