GB/T 38616-2020.Terminology for nano positioning and scanning stage.
1范圍
GB/T 38616界定了納米定位與掃描平臺(以下簡稱平臺)的術語定義。
GB/T 38616適用于納米定位與掃描平臺產品參數的定義。
2通用術語
2.1
壓電陶瓷驅動器 piezo actuator
利用縱向壓電效應將電能轉化為機械能的陶瓷元件。
2.2
柔性鉸鏈機構 flexure hinge mechanism
利用材料彈性形變產生位移的一種特殊運動副,具有無機械摩擦、運動靈敏度高、位移分辨力高等特點,常用于平臺傳動導向機構。
注:根據橫截面切口形狀可以將柔性鉸鏈分為:直角型、橢圓形、過渡圓角型以及正圓形等,如圖1所示。
2.3
納米定位與掃描平臺 nano positioning and scanning stage
基于壓電陶瓷驅動器和柔性鉸鏈機構的具有納米量級定位和掃描功能的平臺。
2.4
平臺材料 stage material
用于制造平臺主體機械結構的物質。
2.5
平臺尺寸 stage size
表征平臺外部輪廓的幾何量。
注:通常以毫米(mm)為單位。
2.6
平臺運動維度 stage degree of freedom
獨立的平臺運動空間坐標方向的數目。
注:可分為一維、二維....六維平臺。
2.7
速度穩(wěn)定性 speed stability
掃描過程中平臺保持恒定速度的能力。
2.8
負載能力 allowable load
正常工作情況下,平臺載物面中心處允許負載的較大載荷。
注:通常以克(g)為單位。
2.9
平臺穩(wěn)定性 stage stability
平臺運行中位置與位移精度的穩(wěn)定性。
2.10
有效帶寬 effective bandwidth
輸出信號幅值衰減到輸人信號幅值3 dB時對應的頻率。
注:又稱一3dB帶寬。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。