GB/T 38614-2020.Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator.
1范圍
GB/T 38614規(guī)定了基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺(以下簡稱為平臺)的測量條件、測量系統(tǒng)和測量方法。
GB/T 38614適用于平臺的研究、設(shè)計、生產(chǎn)、檢測及使用。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 11336-2004直線 度誤差檢測
GB/T 38616-2020納米定位與掃描平臺術(shù)語
3術(shù)語和定義
GB/T 38616-2020界定的術(shù)語和定義適用于本文件。
4測量條件
平臺的測量應(yīng)滿足如下條件:.
a)測量場地應(yīng)無影響測量精度的灰塵、振動、氣流擾動和較強磁場;
b)測量時 的環(huán)境溫度為(20士1)°C,其變化應(yīng)不大于0.5 C/h;
c) 測量時的環(huán)境相對濕度為(50士5)%;
d)測量前應(yīng)確認平臺無影響測量正確性實施和測量結(jié)果的外觀缺陷;
e)測量時平臺處于正常工作狀態(tài)。
5測量儀器
本標準中推薦使用激光干涉儀(以下簡稱干涉儀),角擺偏差也可使用自準直儀,測量儀器精度應(yīng)滿足測量要求。
6測量方法
6.1軸向行程
6.1.1測量步驟
將干涉儀嚴格對準平臺,按照以下步驟進行軸向行程測量:
a)將平臺移動至行程反向極限位置,干涉儀測量讀數(shù)清零;
b)將平臺 移動至行程正向極限位置,記錄干涉儀測量值;
c)重復(fù)步驟a)和步驟b)不應(yīng)少于3次。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。