GB/T 38783-2020.Method of coating thickness determination for precious metal composites by scanning electron microscope.
1范圍
GB/T 38783規(guī)定了各類貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡測量方法。
GB/T 38783適用于10nm~200μum的覆層厚度測量。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 13298-2015金屬顯微組織檢驗方法
GB/T 16594微米級長度的掃描電鏡測量方法通則
GB/T 17359微束分析能譜法定量分析
GB/T 17722-1999金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法
GB/T 20307納米級長度的掃描電鏡測量方法通則
3術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1
聚焦離子束 focused ion beam;FIB
將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的金屬離子(Ga離子),通過離子加速、聚焦后形成離子束流。
3.2
雙束電子顯微鏡 dual beam electron microscope
在掃描電子顯微鏡(聚焦電子束)中還安裝了聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)的顯微鏡。
3.3
氣體注入系統(tǒng) gas injection system;GIS
在雙束電子顯微鏡中集成的用于儲存和釋放各種類型金屬或非金屬氣體化合物的硬件系統(tǒng)。
注:可以通過電子束或離子束對注人氣體進行誘導(dǎo)氣相沉積,在樣品表面形成特定金屬或非金屬的保護層或圖案，也可以使用電子束或離子束對其進行誘導(dǎo)刻蝕以達到增強刻蝕的目的。
3.4
共焦點 beams coincidence
在雙束電子顯微鏡中電子束和離子束焦平面的交點,在該高度位置上可同時實現(xiàn)離子束的精確加工與電子束的清晰成像。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。