GB 50646-2020.Technical standard for specialty gas system engineering.
1總則
1.0.1 為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)計、施工及驗收中貫徹國家現(xiàn)行法律、法規(guī),滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求,確保人身和財產(chǎn)安全、做到安全適用、技術(shù)先進、保護環(huán)境、節(jié)約能源、經(jīng)濟合理,制定本標準。
1.0.2 GB 50646適用于新建、改建、擴建的電子工業(yè)的特種氣體系統(tǒng)工程中的設(shè)計、施工和驗收。
1.0.3 GB 50646不適用于特種氣體的制取、提純、 灌裝等生產(chǎn)及配套裝置的工程設(shè)計、施工和驗收。
1.0.4 特種氣體系統(tǒng)工程的設(shè)計、施工及驗收除應(yīng)符合本標準的規(guī)定外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定。
2術(shù)語
2.0.1 特種氣體 specialty gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)外延、化學氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。
2.0.2 自燃性氣體 pyrophoric gas
也稱作發(fā)火氣體,是指在空氣中等于或低于54°C時可能自燃的易燃氣體。
2.0.3 易燃性氣體 flammable gas
一種在20°C和標準壓力101. 3kPa狀態(tài)時空氣混合有一定易燃范圍的氣體。
2.0.4 劇毒性氣體 highly toxic gas
半致死濃度(空氣中吸入4h)小于或等于100mL/m3的氣體。
2.0.5 毒性氣體 toxic gas
半致死濃度(空氣中吸人4h)大于100mL/m3但不超過2500mL/m3的氣體。
2.0.6 腐蝕性氣體 corrosive gas
對材料或人體組織通過接觸產(chǎn)生化學反應(yīng)引起可見破壞或不可逆變化的氣體。
2.0.7 氧化性氣體 oxidizing gas
一般通過提供氧氣,比空氣更能導致和促使其他物質(zhì)燃燒的任何氣體。
2.0.8 惰性氣體 inert gas
在一般情況下不會與其他物質(zhì)產(chǎn)生化學反應(yīng)的氣體。

檢測流程步驟

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