GB/T 8763-2020.Test methods for gas absorption characteristic of non-evaporation gettering materials and products.
1范圍
GB/T 8763規(guī)定了真空器件用鋯鋁合金粉、吸氣用鋯鋁合金環(huán)件和片件、吸氣用鋯鋁合金復(fù)合帶材、釋汞吸氣用鈦汞-鋯鋁合金復(fù)合帶材、室溫吸氣用鋯石墨材料和制品等非蒸散型吸氣材料及制品的吸氣速率和吸氣量的檢測(cè)方法、檢測(cè)結(jié)果的處理及試驗(yàn)報(bào)告。
GB/T 8763適用于真空器件用鋯鋁合金粉、吸氣用鋯鋁合金環(huán)件和片件、吸氣用鋯鋁合金復(fù)合帶材、釋汞吸氣用鈦汞-鋯鋁合金復(fù)合帶材、室溫吸氣用鋯石墨材料和制品等非蒸散型吸氣材料及制品的吸氣速率和吸氣量的測(cè)定。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 4314吸 氣劑術(shù)語
GB/T 8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定
3術(shù)語和定義
GB/T 4314界定的術(shù)語和定義適用于本文件。
4原理
當(dāng)測(cè)試真空系統(tǒng)處于分子流狀態(tài)時(shí),氣體流過已知流導(dǎo)的流導(dǎo)元件,由于吸氣材料的吸氣作用,在流導(dǎo)元件兩端出現(xiàn)壓強(qiáng)差。采用“定壓法”,恒定一端壓強(qiáng),測(cè)試另一端壓強(qiáng)隨時(shí)間的變化值,通過計(jì)算可得出吸氣速率和吸氣量。
5材料
5.1 氫氣(體積分?jǐn)?shù)不小于9999%)。
5.2 氮?dú)?體積分?jǐn)?shù)不小于9999%)。
5.3 一氧化碳(體積分?jǐn)?shù)不小于99.99%)。
6儀器設(shè)備
6.1 真空系統(tǒng)如圖1所示,應(yīng)滿足以下要求:
真空球直徑100 mm~160 mm;
流導(dǎo)元件流導(dǎo)值的選擇應(yīng)以進(jìn)氣室具有較大吸氣速率時(shí),測(cè)試氣體仍以分子流狀態(tài)通過流導(dǎo)元件,并且可保證準(zhǔn)確測(cè)量進(jìn)氣室壓強(qiáng)直至吸氣速率降低至初始吸氣速率的5%;

檢測(cè)流程步驟

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