鍵合拉力檢測是一種用于評估材料之間鍵合強度的檢測方法。它主要用于確定兩個材料之間的粘合強度,例如粘合劑與基材之間的粘合或焊接接頭的強度。這種檢測方法廣泛應(yīng)用于制造業(yè)、材料科學、電子工程和航空航天等領(lǐng)域。
檢測范圍
熱超聲球鍵合、超聲楔形鍵合、鋁楔形鍵合、熱壓鍵合、超細間距引線鍵合、金合金引線、金引線、鋁和鋁合金引線、硅鋁引線、鋁鎂引線、金引線、銅引線等等。
檢測項目
鍵合拉力檢測是一種實驗室檢測方法,用于評估材料之間鍵合的強度。以下是一種常見的鍵合拉力檢測實驗室檢測方法:
樣品準備:準備兩個需要檢測鍵合強度的樣品,通常是兩種不同材料的薄片或者線段。確保樣品表面干凈,并保持平整。
夾具安裝:使用夾具將兩個樣品固定在相對位置上。夾具需要確保樣品之間有一段明確的接觸長度,以便進行拉力檢測。
檢測設(shè)備設(shè)置:將夾具安裝在拉力檢測機上,并根據(jù)檢測要求設(shè)置合適的檢測,如拉力速度、檢測范圍等。
初始加載:機器開始運行,使夾具施加一個初始加載,以確保兩個樣品保持一定的緊密接觸。
加載施加:逐漸增加拉力,通過拉伸樣品來檢測鍵合的強度。拉力的增加速度應(yīng)根據(jù)檢測要求確定。
記錄數(shù)據(jù):檢測過程中應(yīng)將拉力和拉伸長度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)進行實時記錄,并繪制拉力-拉伸曲線。
強度評估:根據(jù)拉力-拉伸曲線和實驗結(jié)果,評估鍵合的強度。常見的評估指標包括大拉力值、斷裂點、拉伸長度等。
數(shù)據(jù)分析:對實驗數(shù)據(jù)進行分析和統(tǒng)計,比較不同樣品的鍵合強度,并進行結(jié)果解釋和討論。
參考檢測標準
GB/T 4937.22-2018 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第22部分:鍵合強度
GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技術(shù).微鍵合區(qū)剪切和拉壓強度檢測方法
GB/T 8646-1998 半導體鍵合鋁-1%硅細絲
GB/T 32268-2015 十八烷基鍵合相(C18)高效液相色譜柱性能測定方法
DIN EN 62047-25-2017 半導體器件. 微型機電裝置. 第25部分: 硅基MEMS制造技術(shù). 微鍵合區(qū)拉壓和剪切強度的測量方法
YS/T 1105-2016 半導體封裝用鍵合銀絲
NF C96-050-9-2012 半導體器件 - 微型機電裝置 - 第9部分: 微機電系統(tǒng)硅片的硅片鍵合強度檢測.
IEC 62047-9 Corrigendum 1-2012 半導體器件.微型機電器件.第9部分:微機電系統(tǒng)硅片的硅片鍵合強度檢測
DIN EN 62047-9-2012 半導體器件.微型機電器件.第9部分:微機電系統(tǒng)硅片的硅片鍵合強度試驗
IEC 62047-9 CORR 1-2012 半導體器件.微型機電器件.第9部分:微機電系統(tǒng)硅片的硅片鍵合強度檢測
檢測流程步驟
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